詳細(xì)說明
LMX2E系列直線電機(jī)特征：
直線度可達(dá)10um
X軸最大6m Y軸0.5m行程
以線性滑軌架構(gòu)之定位平臺(tái)
良好接地設(shè)計(jì)防止噪聲干擾
Z向震動(dòng)可達(dá)奈米等級(jí)以下
最大速度可達(dá)5m/s
標(biāo)準(zhǔn)重現(xiàn)精度1um或以下
位置回饋系統(tǒng)分辨率最低可達(dá)50nm
LMX2E系列直線電機(jī)應(yīng)用：
半導(dǎo)體設(shè)備
自動(dòng)化搬送
FPD設(shè)備
太陽能制造設(shè)備
PCB設(shè)備
水刀設(shè)備
鉆石切割產(chǎn)業(yè)
AOI檢測設(shè)備
工具機(jī)
吳先生 18825529040
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